日本fcon數字質量流量控制器2000系列
特征
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日本fcon數字質量流量控制器2000系列
規格
| 型號：質量流量控制器 | C2005 | C2020 | |
|---|---|---|---|
| 型號：質量流量計 | M2005 | M2020 | |
| 流量（N2轉化流量） | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM | 10SLM |  20SLM |
| 對應氣體類型 | 各種氣體（腐蝕性氣體請聯系我們） | ||
| 閥門類型 | NC：常閉（不適用于儀表） | ||
| 控制流量范圍 | 2-99% FS（不適用于儀表） | ||
| 流量精度 | ± 1% FS（精度保證范圍15-35°C） | ||
| 流量設置 （不適用于儀表） | 主機顯示設定裝置/事件輸入/輸出切換 | ||
| 數字：RS485 模擬：0.1-5VDC/4.3-20mA（任意切換） | |||
| 流量輸出 | 主機顯示：7段LED | ||
| 數字：RS485 模擬：0-5VDC/4-20mA（任意切換） | |||
| 再現性 | ± 0.2% FS | ||
| 響應時間 | ≤ 2 秒 | ||
| 所需壓差 | 50-300KPa | 100-300KPa | 200-300KPa |
| 耐壓 | 1MPa (G) | ||
| 保證工作溫度 | 5-50℃，85%RH以下 | ||
| 外漏 | 1 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He | ||
| 安裝姿勢 | 未規定（免費） | ||
| 供電電壓、電流消耗 | + 24VDC，小于250mA | ||
| 通訊方式 | 數字：RS485 模擬：0-5VDC/4-20mA（任意切換） | ||
| 氣體接觸材料質量 | SUS316、聚四氟乙烯、氟橡膠 | ||
| 密封材料質量 | 氟橡膠 | ||
| 執行器方式 | 電磁閥（不適用于儀表） | ||
| 表面處理 | 機加工 | ||
| 連接配件 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）、一鍵式接頭和其他接頭形狀，請聯系我們。 | ||
* 流量單位“SCCM，SLM”為0℃，1013kPa abs（1atm）標定。
* 請說明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校準流量單位“CCM, LM”。
