高純氣體分析儀一臺氣體分析儀或一套氣體分析系統相當于一套完整的化工工藝設備，因此，氣體分析儀器系統工作過程就是在實現一系列的化工過程。若想通過氣體分析得到準確數據，就必須了解這一系列化工過程中各階段的情況及變化，認真研究并掌握其中的規律，只有這樣才能達到準確測定的目的。
定量分析常用的儀器校正。氣體分析儀作為一種定量分析儀器，在做定量分析前必須使用標準氣進行校正（或標定）。標準氣一般是從國家*或合法工廠購買的，在特殊情況下，也可以自行配置（但要具有配置標準氣的資格和能力以及相關的設備）。標準氣保質期為一年，在使用標準氣校正分析儀器時，還必須深入了解正常手續和使用規律。如果購買和使用不合乎要求的標準氣，會導致分析數據的*偏差。如果對標準氣的使用要求不甚了解，也會因得不到準確數據結果，給空分生產帶來麻煩。
高純氣體分析儀DLAS技術是一種高分辨率的光譜吸收技術，半導體激光穿過被測氣體的光強衰減可用朗伯-比爾（Lambert-Beer）定律表述式得出，關系式表明氣體濃度越高，對光的衰減也越大。因此，可通過測量氣體對激光的衰減來測量氣體的濃度。
氣體成分在管道及設備中流動時發生的微觀變化是復雜的、多變的。在常量氣體成分分析時可以忽略的諸多影響因素，在微量氣體成分分析時不僅不能忽略，反而必須認真對待，此時，這些因素已經成為影響微量氣體成分分析正確結果的主要矛盾，必須逐一排除和解決才能使微量氣體分析儀器工作順利完成。這些影響因素主要包括以下幾個方面：①取樣管路內氣體多次的反復混合；②管壁與氣體成分的物理化學作用；③管路材質；④管路連接方式；⑤管路潔凈程度。
儀器作為一種計量檢測工具，在正常運行情況下，給出的數據絕大多數都是相對量值，測定數據是否準確及準確的程度（精度），儀器本身是無法提供的，也是無法證實的。必須依靠外圍技術工作完成，這就是分析數據的驗證工作。
