可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱用途及執行標準 | ||
制造標準 | 本產品是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造。 | |
2、產品用途 | 主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。 | |
3、適用行業 | 應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業. | |
可編程潔凈烘箱，程序無塵烘箱技 術 性 能 參 數 | ||
1、設備名稱 | 高溫無塵無氧烤箱 | |
2、設備型號 | JS-MOA130-1F | |
3、主要技術參數 | ||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm（W×D×H） | |
3.2 材質 | 外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用SUS/304不銹鋼 | |
3.3 溫度范圍 | RT+10-450℃，使用溫度≤380℃ | |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ | |
3.5 溫度波動度 | ＜±1℃ | |
3.6 溫度均勻度 | ≤±2% | |
3.7 潔凈度 | class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境 | |
3.8電源及總功率 | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約11.0KW | |
3.9 升溫時間 | 每分鐘5度，全程平均（空箱測試） | |
3.10降溫時間 | 降溫方式：水冷+風冷，300℃-90℃降溫時間約為1小時（空箱測試） | |
3.11氧含量
| 高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量 | |
3.12 數據輸出 | 六通道溫度檢測記錄儀 | |
潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用途:
潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
潔凈烘箱，百級潔凈烤箱特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
潔凈烘箱，百級潔凈烤箱產品技術參數：
1.主要技術指標：
無塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W800×D800×H1000（mm）
電源：380v , 50Hz，20KW
網板：2塊（高度可調節)
