D07-19BM氣體質(zhì)量流量計(jì),氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器
簡(jiǎn)介：
氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于對(duì)氣體質(zhì)量進(jìn)行精密測(cè)量。它將測(cè)量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積流量或標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。
氣體質(zhì)量流量計(jì)具有低功耗、精度高、壽命長(zhǎng)、重復(fù)性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點(diǎn)。用測(cè)試氣體質(zhì)量的方法對(duì)氣體進(jìn)行流量測(cè)量，目前在國(guó)內(nèi)處于地位。
D07-19BM氣體質(zhì)量流量計(jì),氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器主要特點(diǎn)：
★高精度，快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★兼容
用 途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V
,氮?dú)饬蚧瘹錃怏w質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
滿(mǎn)量程流量范圍(N2) | 5SCCM～30SLM | |
控制范圍 | 2～100％F.S. | |
閥類(lèi)型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
線(xiàn)性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5～45℃ | |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.95Kg | |
